본질안전 방폭구조의 전기기계기구에서 생겨난 말이다. 전기기계기구 이외에 있어서는 본질안전을 글자의 뜻과 같이 해석하여 재해발생 요인의 일부 또는 전부를 배제하여 원리적으로 재해발생의 우려가 없는 것을 말한다. 이 의미는 다시 확대되어서 가령 기계설비에 사고 이상 사태가 발생하여도 재해에 이르기 전에 기계설비가 정상적인 상태로 되거나 또는 안전하게 작동하는 등 인간이 오조작하거나 기계가 고장나도 재해가 발생하기 않게 하는 것을 의미하게 되었다.
본질적 안전화의 말이 행정면에서 사용된 것은 1968년에 정해진 산업재해 방지계획이 처음이다. 본질을 차용하였다는 데서 처음에는 본격적 안전과 같은 글자를 써왔지만 단어가 나타나는 여운이 나쁘다는 이유로 인해 본질안전이 현재는 일반적으로 사용되게 되었다.