유해물의 그 발생원(source)에 되도록 가까운 장소(part)에서 동력을 이용해 흡입·배출하는 장치이다. 국소배기 장치는 후드(hood), 덕트(duct), 공기청정장치(air cleaner equipment), 팬(fan), 배기덕트(exhaust duct) 및 배기구(air outlet)의 각 부분으로 구성되어 있다.

1. 후드(hood): 오염물(contaminant)의 발생원을 포위하도록 설치된 둘레, 또는 포위할 수 없을 때에 되도록 발생원에 근접시켜서 설치된 개구(opening)를 통하여 흡입기류(inlet air current)를 일으켜서 오염 공기를 후드내로 유입시키는 것으로, 국소배기 장치의 입구부를 말한다.

2. 덕트(duct): 오염공기를 후드에서 공기 청정장치를 통해 팬까지 반송하는 도관(흡입덕트라 한다) 및 팬으로부터 배기구까지 반송하는 도관(배기덕트라고도 한다)을 말한다. 덕트에 대해서는 분진이 퇴적하지 않도록 최소 풍속(반송속도라 한다)을 얻기 위한 단면적의 크기 계산, 부식에 견디는 재료의 선택, 압력 손실의 방지를 위한 공작 방법 등이 문제가 된다.

3. 공기 청정 장치: 후드, 흡입덕트에 들어온 오염공기를 외기에 방출하기 전에 청정하게 하는 장치이다. 이 장치는 분진을 제거하기 위한 제진 장치와 가스, 증기를 제거하기 위한 배출가스 처리 장치로 대별된다.

4. 팬: 오염공기를 덕트를 통해서 배기하기 위해 필요한 에너지를 부여하는 기계이다. 팬은 소요되는 배풍량, 압력 손실에 대응하는 것으로 선택해야 한다.