결정립계를 따라서 원자가 선택적으로 이동하는 것을 말한다. 입계확산의 활성화 에너지는 입내확산에 비해 작다. 그러므로 다결정에서의 저온에서의 확산에는 입계 확산이 주도적이며, 고온에서는 반대로 입내 확산이 주도적이 된다.