각종 금속을 증발시켜, 그 입자군을 잔류 가스(보통 Ar)의 방전 플라즈마 내로 통과시켜 이온화하고 피처리재에 충돌 부착시킨 처리를 말이다. 물리증착(PVD)법의 대표적인 방법이다. 진공증착에 플라즈마효과를 결합시킨 성막법으로 잔류가스 속에 반응가스를 혼입시켜 금속증발 입자와 반응시키는 화합물 피복도 가능하다. 초경합금 TiC나 TiN 피복에도 널리 이용된다.