집광된 레이저광에 의해 시료를 주사하고, 투과나 반사되는 에너지광의 강도변화를 포착, 시료상의 각 점에서 얻어진 신호로 시료의 확대화상을 얻는 장치를 말한다. 레이저광의 조사를 위한 시료의 형광이나 재료의 광전기력, 광도전성 등 2차적인 정보를 이용하여 화상을 얻을 수도 있다.