일반적인 방사분석의 한 방법으로서 희석법과 역희석법의 두 종류가 있다. 분석대상 시료 중의 특정 원소의 정량을 위해, 그 원소의 비방사능에 이미 알고 있는 방사성 동위체의 일정량을 가해, 그 원소를 화학 분리한 후, 비방사능의 변화로부터 시료 중에 최초로 존재한 원소량을 아는 방법을 희석법 또는 희석분석법이라 부른다. 역으로 비방사능 기지로 전량미지의 원소의 정량에 비방사성 동위체의 일정량을 가하고 분리해서, 비방사능의 변화에서 최초에 존재한 방사성원소의 정량을 행하는 방식을 역희석법 또는 역희석분석법이라 한다. 또한 자연계에 각 원소의 동위체 존재비가 일정한 것을 이용하여, 특정질량수의 동위체를 농축한 것(특정 농축 동위체, enriched isotope)을 시료에 가해 질량분석 그 외의 수단으로 동위체 존재비의 변화를 측정해서 그 원소의 정량을 행하는 방식도 있다. 이것을 포함해서 동위체 분석법이라 한다.