공정 및 설비 고장의 형태 및 영향, 고장 형태별 위험도 순위 등을 결정하는 기법을 말한다. 시스템·공정 장치, 그들의 고장형태(failure mode), 시스템/공정에의 각 고장형태(failure mode)에 대한 위험도 순위를 표로 만드는 것이다. 고장형태(failure mode)는 장치가 어떻게 고장났는가(open, close, on, off, 누출 등등)에 대한 설명이다. 이 분석방법은 각각의 공정 장비 항목에 대한 모든 가능한 고장형 모드(failure mode)들과 함께 공정에 존재하는 장비의 모든 리스트들을 포함하고 있다. 특별한 형태의 고장에 대한 영향은 공정자체 내에서 고려된다.