서브시스템 위험분석이나 시스템 위험분석을 위하여 일반적으로 사용되는 전형적인 정성적, 귀납적 분석기법으로 시스템에 영향을 미치는 모든 요소의 고장을 형태별로 분석하여 그 영향을 검토하는 것이다. 고장형태 및 영향분석(FMEA)은 모든 전체 시스템이나 기타 구성요소에 있는 특정 장비나 부분의 고장 효과를 평가하는 데 사용되며 그 고장 형태와 고장의 영향과 함께 도표화된다. 그리고 필요에 따라 추가 보호 특성과 안전 조치 사항들을 개발하는 것으로 이러한 고장 내용들을 그에 따른 사고의 심각도에 따라 순위를 매긴다. 이러한 방법은 장비를 중심으로 한 것이다. 여기에서는 인적 오류나 규격에 벗어나는 원료와 같은 문제점들을 고려하지 않으며, 복잡한 시스템에는 쉽게 채택할 수 없다. 이러한 경우에는 “가정” 분석이나 HAZOP 분석이 보다 효과적이다. 고장형태 및 영향분석(FMEA)는 어느 공정의 작은 부분과 이와 유사한 장비에 대한 반복적인 분석에 가장 적합하다. 교차점검(cross checking)이 되도록 하려면 두 가지 분석 방법을 모두 사용하는 것이 바람직하지만, 이 방법은 개개인이 사용할 수 있는 것이다. 분석 활동에 여러 가지 고장 사항의 중대성을 평가하는 것이 포함될 경우, 이 방법은 고장 형태, 효과 및 중대성 분석(failure modes effects and criticality analysis: FMECA)에 보다 유리하다. 고장 형태와 그 결과를 문서화하는 데 조직적인 방법을 제공할 수 있고, 사용 및 문서작성이 용이하여 적절한 교육을 통해 심도있는 분석을 위해 특이한 공정들을 분류할 수 있다는 장점을 가진다. 그러나, 공정 시스템에 대한 정확한 설명이 필요하며 설계도와 규격을 활용할 수 있어야 하고, 공정 설계가 정확하다고 가정해서 진행되므로 적용범위에 있어 한계가 있으며, 여러 가지 진행 또는 중지 상황에서 기계장치와 장비에 비중을 두고 있다는 단점을 가지고 있는 분석 방법이다.